产品领域

MAS 4/ MAS 6/ MAS 8 系列

ICS

SLP


业界领先的直接成像解决方案,适用于 IC 封装载板,如 FC-BGA 、 FC-CSP 等,搭配业界常用干膜实现高产能。 该系统采用DMD技术,通过高精度的资料解析能力,实现精细线路优异的线宽一致性和边缘粗糙度,保证高品质的同时,降低整体运行成本。

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产品特点

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超高解析与产能兼顾

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应用于 IC 载板(FC-CSP , FC-BGA)和 SLP 等量产领域

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最小线宽/线距:

4/4μm

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对位精度:

±4μm

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