MLF 直写光刻系列
采用先进的数字光刻技术，无需掩模版，可直接将版图信息转移到涂有感光材料的衬底上，产品适用于第三代半导体碳化硅工艺应用，功率器件、陶瓷基板等应用领域。产品结构紧凑，景深大、速度快，对干膜和光刻胶均有良好的工艺适应性，是一款经济、灵活的量产设备。
产品特点
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高产能直写光刻设备
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应用于大功率器件、先进封装和陶瓷基板的线路与打码曝光功能
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最小线宽线距:
6μm
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最大基板尺寸:
12" x12"
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自动对准、背面对准、用户自定义标记对准功能
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