MLC 600 直写光刻系列
采用先进的数字光刻技术，无需掩模版，能够直接将版图信息转移到涂有光刻胶的衬底上。产品功能灵活、体积小、性价比高，专为各高校、实验室及研究机构量身打造。其主要应用产品包括各类MEMS制作（如MEMS麦克风、压力传感器、加速度计、陀螺仪、超声波传感器、压电传感器）、掩模板制作等。
产品特点
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精巧型直写光刻设备
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应用于MEMS、功率器件和掩模版制作等
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自动对准、背部对准、用户自定义标记对准功能
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自动实时聚焦功能
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