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LDW 350/500 直写光刻机


该设备基于先进的DMD数字光刻技术,采用高精度的精密运动系统、光学系统、微环境控制系统,同时具备实时聚焦、自动居中对位等功能。

LDW.png
  • 产品特点

    01

    最小线宽线距:

    350nm

    图片名称

    02

    套刻精度:

    ±150nm

    图片名称

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