产品领域
Product Field
产品特点
01
最小线宽线距:
350nm
02
套刻精度:
±150nm
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服务热线: 400-8935-098
服务咨询: sales@cfmee.cn
该设备基于先进的DMD数字光刻技术,采用高精度的精密运动系统、光学系统、微环境控制系统,同时具备实时聚焦、自动居中对位等功能。
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最小线宽线距:
350nm
02
套刻精度:
±150nm
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